硅、碳化硅🧳都能制备大尺寸自支撑晶圆，氮化镓则大多外延🥂生长在硅🛤。
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硅、碳化硅🧳都能制备大尺寸自支撑晶圆，氮化镓则大多外延🥂生长在硅🛤。
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